半導體、光伏鋰電、實驗室高純氣路系統中，管路閥門的潔凈度、密封性、低顆粒析出性能，直接影響工藝良率。日本 KITZ 開滋?SCT 推出的VLD8CS?VC?EP?316L 低壓氣動高純隔膜閥，傳承經典 KD 系列成熟潔凈技術，兼顧穩定性能與高性價比，是低壓高純氣體管路自動化通斷控制優選方案。  

VLD 系列屬于經濟型氣動金屬隔膜閥，專為低壓高純工況打造；VLD8CS?VC?EP?316L 為二通直通、M?CVC 外螺紋 VCR 連接、常閉 NC 氣動驅動。閥體采用316L 不銹鋼，流道內部 EP 電解拋光處理，閥座選用 PCTFE 密封材料，有效減少微粒產生，保障高純介質不受污染。作為 KD 系列的經濟型衍生版本，保留原廠耐用品質，優化內部結構，在半導體支線氣路、惰性氣體輸送、真空管路控制等場景實現降本增效。

核心技術參數

• 型號：VLD8CS?VC?EP?316L

• 驅動方式：氣動、彈簧復位?常閉（NC）

• 接口規格：1/4 英寸，M?CVC 公頭 VCR 連接

• 閥體材質：316L 不銹鋼

• 內表面處理：EP 電解拋光

• 閥座密封：PCTFE

• 最大工作壓力：0.98MPa

• 流體溫度：?10℃～80℃

• 環境溫度：?10℃～60℃? 流量系數 Cv：0.27? 適用介質：高純氮氣、氬氣、氫氣、特種腐蝕氣體、真空管路等KITZ SCT C...

產品核心優勢

1、EP 電解拋光流道，高純潔凈，低顆粒析出

316L 不銹鋼流道經過精密電解拋光處理，內壁光滑，氣體沖刷不易產生金屬微顆粒，可滿足半導體、新材料行業高純供氣的潔凈要求，避免微粒污染腔體與晶圓。

2、氣動彈簧常閉結構，安全斷氣保護

氣源失壓時閥門自動關閉，切斷氣路，為工藝管路提供安全保障；開關響應迅速，適合高頻次自動化循環通斷控制。

3、成熟密封結構，長期零泄漏

PCTFE 閥座搭配原廠金屬隔膜組件，密封性能穩定，抗腐蝕性強；閥內死區容積小，吹掃置換效率高，減少氣體殘留。

4、高性價比，繼承 KD 品質

基于 KITZ?SCT 經典 KD 隔膜閥技術平臺開發，保留原有耐用性能，精簡結構，相比 KD 系列有效降低采購成本，適合大批量支線管路配套，平衡品質與項目預算。

5、VCR 密封連接，拆裝便捷

標準 M?CVC 外螺紋接口，VCR 金屬面密封，無泄漏、拆裝維護方便，管路重復拆裝依然可以保證密封可靠性。

主流應用場景

? 半導體設備支線氣路：機臺惰性供氣、吹掃管路、真空管路通斷控制? 光伏、鋰電新能源產線：高純保護氣體輸送閥門? 實驗室氣體控制柜、特氣面板：高純氣體自動開關? 精細化工、分析儀器：腐蝕性低壓高純流體管路控制

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