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技術文章/ article
在半導體濕法工藝、新能源鋰電、化工藥液輸送等高純流體系統當中,藥液倒流引發的管路污染、泵體損壞、工藝報廢一直是流體控制環節的高發風險。來自日本SURPASS(超越)工業的FTL?3?K?RS氟樹脂止回閥,專為腐蝕性化學藥液、高純流體管路開發,依靠優異的耐化學腐蝕性能,成為精密流體回路單向防護的熱門進口元器件。一、品牌背景介紹SURPASS(超越,サーパス工業),是日本深耕氟樹脂流體元器件的老牌廠商。自1982年建廠以來,品牌專注研發PFA、PTFE特氟龍材質閥門、接頭、傳感器...
在自動化生產線、輸送設備、紡織機械與包裝設備當中,旋轉編碼器是實現轉速檢測、位移計數、方向判斷的核心反饋器件。TRD?2T600BF?3M來自日本JTEKT捷太格特(原光洋KOYO)經典TRD?2T系列,作為一款高通用性實心軸增量編碼器,憑借穩定的脈沖輸出與超長3米出線規格,成為眾多國產與進口設備維修、技改項目的優選型號捷太格特電...。一、產品基礎解析TRD?2T600BF?3M屬于增量式光電旋轉編碼器,型號每一段字符都定義了產品配置:TRD?2T:捷太格特2T標準小型系列...
在陶瓷、粉末冶金、電子元件、新材料燒結的工業生產中,爐內真實溫度一直是工藝管控的一大難點。熱電偶只能測量探頭點位溫度,無法還原坯體在高溫環境下完整受熱歷史;而來自日本JFCC的Referthermo參考溫度傳感器(測溫片),憑借陶瓷高溫收縮特性,成為了一款直觀、可靠的爐溫校驗工具。一、什么是JFCC參考溫度傳感器JFCC參考溫度傳感器本質是高純氧化鋁系陶瓷生坯片。以氧化鋁以及其他陶瓷粉體作為原材料,經過壓制成型,制成固定尺寸的素坯。陶瓷素坯在高溫爐膛內加熱時,會遵循固定規律發...
在半導體濕法工藝當中,蝕刻液、顯影液、剝離液、BOE緩沖液等高純藥液儲液瓶外壁恒溫伴熱,已經成為穩定藥液品質、預防溶質結晶、保障晶圓良率的重要一環。坂口蝕刻箔硅膠加熱片(Samicon/SSAM系列)支持非標定制,而選型參數的完整、準確,直接決定后期溫場均勻度、藥液潔凈安全、瓶體使用壽命。很多項目后期出現溫度不均、無法貼合圓弧瓶身、功率偏大造成藥液變質等問題,根源往往是前期定制參數收集不全。一、容器本體基礎信息(首要確認)1、儲液瓶材質石英瓶/PTFE特氟龍/PP塑料/不銹鋼...
在半導體濕法蝕刻、清洗、顯影制程當中,高純藥液存儲的溫度穩定性,是保障晶圓良率不可忽視的關鍵一環。蝕刻液、顯影液、剝離液、BOE緩沖藥液等工藝試劑,對環境溫度變化十分敏感。車間晝夜溫差、冬季低溫、管路散熱損耗,都會造成儲液瓶外壁溫度下降,瓶內藥液溶質析出結晶、黏度發生漂移。一旦微小結晶進入供液管路,就會堵塞精密閥門、噴嘴,造成藥液輸送流量不穩、蝕刻速率偏移,最終引發晶圓蝕刻不均、顆粒殘留等批量不良問題,增加設備停機維護成本。很多客戶在儲液瓶外壁保溫項目上,選用普通伴熱帶、背膠...
在半導體濕法清洗整條產線當中,晶圓經過RCA清洗、藥液蝕刻、純水漂洗之后,表面會殘留一層極薄的水膜。如果直接進入下一工序,殘留水汽極易引發氧化、水印缺陷、線路腐蝕等不良問題。后烘干預熱陶瓷載臺,就是利用恒溫加熱將晶圓表面水汽烘干,是保障晶圓良率一道至關重要的工序。而陶瓷載臺背部的加熱方案,直接決定載盤整體溫度均勻性,也深刻影響晶圓烘干效果。坂口電熱Samicon系列硅膠加熱片,專為常壓、高濕、帶有酸堿霧氣的清洗工位研發,是晶圓清洗?后烘干預熱陶瓷載臺背部加熱成熟可靠的熱源方案...
在半導體單片式濕法清洗產線當中,晶圓經過RCA清洗、藥液蝕刻、超純水漂洗之后,表面會留存一層極薄的水膜。后烘干預熱陶瓷載臺就是依靠背部恒溫熱源,將晶圓表面水汽烘干,規避水印、氧化斑點等不良缺陷,是保障晶圓良率的關鍵工序。坂口電熱Samicon?230系列硅膠加熱片,柔性貼合安裝于氧化鋁陶瓷載臺背部,適配常壓、高濕、酸堿霧氣揮發的后烘工位環境。下面為大家完整拆解整套標準化工藝流程:一、設備待機?提前預熱階段設備上電啟動,PID溫控系統開始驅動硅膠加熱片升溫。為避免脆性陶瓷載臺受...
隨著國內成熟制程、先進封裝產線持續擴建,濕法清洗、蝕刻、化學供液系統不斷增多。純水、酸堿藥液的滲漏隱患,一直是晶圓工廠、面板設備廠商重點防范的風險點。微量漏液如果無法及時發現,短時間內就會腐蝕機柜電路板、污染潔凈車間,造成高昂的停機損失與良率事故,因此高精度、高可靠的漏液監測元件已經成為半導體設備安全防護中的一環。WL10?NP?4是尼得科科寶(NIDEC?COPAL)WL10系列光學反射式漏液傳感器的成熟型號。產品采用紅外棱鏡反射檢測原理,無需外接遮光板與獨立放大電路,即可...
一、晶圓檢測轉臺工況痛點晶圓檢測旋轉平臺(探針臺、外觀檢測、AOI光學檢測、偏光檢測),旋轉θ軸一般0?360°往復旋轉、很少連續多圈轉動,中空孔需要穿過真空吸附管路、信號線、冷卻走線;要求角秒級定位精度、潔凈低發塵、信號穩定,上電回零會拖慢檢測節拍、影響稼動率。二、類型選擇:增量式VS絕對值方案A|優先推薦:單圈絕對值中空編碼器MAH?28/MA?H系列(半導體檢測)優勢:上電直接讀取角度,無需回零;斷電位置不丟失;無累計誤差;SSI/BiSS?C串行差分輸出,抗電磁干擾,...
近年來,國內SMT、半導體封裝設備市場迎來新一輪擴容浪潮。汽車電子、功率器件、Mini?LED背光、高密度PCB電路板需求持續走高,下游廠商對于貼片機貼裝精度、運行穩定性、長期量產良率提出了更為嚴苛的標準。貼片機貼裝頭θ旋轉軸作為核心運動單元,微小的角度偏差,便極易引發芯片偏移、引腳對位不準、虛焊等不良缺陷。高精度位置反饋編碼器,已經成為決定貼片機性能上限的關鍵零部件。日本MTL(Microtech?Laboratory)高精度中空軸光電編碼器,精準瞄準貼片機θ軸、旋轉工作臺...